洁净室的含义:
洁净室(Clean Room),亦称为无尘室或清净室。它是污染控制的基础,没有洁净室,污染敏感零件不可能批量生产。在FED-STD-2里面,洁净室被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间,其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度,从而达到适当的微粒洁净度级别。
洁净室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。
洁净室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为洁净室。按照国际惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘,而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微,但是对于光学构造而言,哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响,所以在光学构造产品的生产上,无尘是必然的要求。
每立方米将小于0.3微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到了国际无尘标准的A级。芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A级,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。0.5uM及以下的微尘数量被严格控制在每立方英寸1000个以内,这也就是业内俗称的1K级别。
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圣科净化的优势:
光学微电子净化工程亦名无尘室或洁净室,目前已是半导体、精密制造、液晶制造、光学制造、线路板制造和生物化学、医药、食品制造等行业不可或缺的重要设施。近几年来,由于技术之创新发展,对于产品的高精密度化、细小型化之需求更为迫切,如超大型积体电路之研究制造,已成为世界各国在科技发展上极为重视的项目,而我公司的设计理念及施工技术在行业中则处于领先地位。
空气洁净等级表:
等级 | 每立方米(每升)空气中 ≥0.5微米尘粒数 | 每立方米(每升)空气中 ≥5微米尘粒数 | 100级 | ≤35×100(3.5) | 1000级 | ≤35×1000(35) | ≤2500(0.25) | 10000级 | ≤35×10000(350) | ≤25000(2.5) | 100000级 | ≤35×100000(3500) | ≤25000(25) |
注:对于空气洁净度为100级的洁净室内大于等于5微米尘粒的计算应进行多次采样。当其多次出现时,方可认为该测试数值是可*的。
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洁净室的重要性:
洁净室的洁净度往往受到气流的影响,换言之,即人、机器隔间、建筑结构等所产生的尘埃之移动、扩散受到气流的支配。
洁净室系利用HEPA、ULPA过滤空气,其尘埃的收集率达99.97~99.99995%之多,因此经过此过滤器过滤的空气可说十分干净。然而洁净室内除了人以外,尚有机器等之发尘源,这些发生的尘埃一旦扩散,即无法保持洁净空间,因此必须利用气流将发生的尘埃迅速排出室外。
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洁净室所需材料:
A.装饰结构类:
1:洁净室所需要的净化设备主要有:风淋室货淋室 层流罩(FFU)传递窗高效送风口(分为普通高效送风口,一体化高效送风口,可更换滤网的高效送风口) 泄压阀 风量调节阀等,洁净室做好后有的局部净化级别要求特别高,因此我们推荐客户使用洁净工作台,洁净棚等净化设备。
2:围体结构彩钢板(各种铝型材 槽铝 T型大梁铝 角铝外形柱铝 外圆片 三维接头 门堵头 内圆弧线 门料 窗料等) 辅助材料角铁 圆钢 胶塞 白功钉 拉爆钩等)
B.空调通风部分:
1.空调通风部分主要材料有空调主机,送回风管,镀锌水管(或者PVC水管) 水塔 闸阀水泵 Y型过滤器 橡胶软管 止回阀 水流开关 温度计压力表 水过滤器 各种管码
2:通风部分的主要材料有中效增压箱风阀 风量调节阀 初效防雨百叶 风回百叶 初效过滤器 中效过滤器 高效过滤器 层流罩(FFU) 保温棉 保湿软管各种辅材
C. 电器部分:
1、空调电路
2、净化设备电路
3、照明电路
D. 地面部分:
1、环氧树脂地坪
2、PVC地板
3、高架地板地面
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洁净室所需设备:
风淋室、货淋室、传递窗、洁净工作台、高效送风口、净化独立送风单元,层流罩等设备(详细信息见净化设备介绍)。
洁净室的控管项目:
1、 能除去空气中飘游之微尘粒子。
2、 能防止微尘粒子之产生。
3、 温度和湿度之控制。
4、 压力之调节。
5、 有害气体之排除。
6、 结构物与隔间之气密性。
7、 静电之防制。
8、 电磁干扰预防。
9、 安全因素之考虑。
10、 节能之考量。
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运行节能
1、洁净室送风、排风、新风之间应切换自如,如生产停止、排风柜也应停止或减小风量,新风也应调小。
2、工艺并非绝对要求值班风机运行保护的,应采用提前开机自净的办法。
3、洁净室通风机转速使其压头可以控制,不要总处于最大压头或最大风量运行的工况。
4、运行应最大限度地利用室外空气冷却作用,并在此时增大新风比。
5、洁净室应根据室外气象条件变化,通过自控或手控即能调整设备出力。
6、缩小洁净空间体积,如洁净隧道或隧道式洁净室,根据生产要求把洁净空间划分为洁净度级别不同的工艺区、操作区、维修区和通道区。